ZrON^?低溫溫度計

ZrON^?低溫溫度計不僅具有靈敏度高、熱響應(yīng)快、工作溫區(qū)范圍大、熱循環(huán)重復特性好和機械強度高等特性，還具有低磁阻、耐輻照和年漂移量小等優(yōu)點，可廣泛應(yīng)用于低溫/超低溫系統(tǒng)、超導磁體系統(tǒng)、加速器、對撞機、同步輻射源、先進光源、中子源、高能物理、天文望遠鏡、宇宙微波背景輻射探測和量子計算等領(lǐng)域。

ZrON^?低溫溫度計的溫度傳感單元是磁控反應(yīng)濺射生長的ZrON薄膜，通過調(diào)節(jié)磁控反應(yīng)濺射中氮氧化物比例和生長溫度來調(diào)節(jié)ZrON薄膜的溫度響應(yīng)范圍，結(jié)合先進的光刻技術(shù)和封裝工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)從100mK-425K溫度范圍的全覆蓋。

ZrON^?低溫溫度計有SD、Bobbin和Can三種標準封裝，根據(jù)阻值范圍和工作溫區(qū)的不同分為ZrON-10，ZrON-50，ZrON-70和ZrON-80四款，典型溫度準確性：±5mK@1K；±5mK @4.2K，±15mK@77K，±50mK@300K。